9月10日，信息工程学院集成电路专业相关老师见证了集成电路工艺实训平台（简称：工艺平台）流片完成的PN二极管晶圆的功能测试，测试结果表明二极管芯片功能正确，标志着集成电路工艺实训平台建设取得成功。集成电路工艺实训平台于2022年10月开始立项建设，是信息工程学院迄今为止投资最大、仪器设备类型最多、综合复杂度最高的学生实训平台。工艺平台建设经历了方案调研论证、招标采购、设备安装和工艺流片试验等诸多环节，得到了校领导、学校管理部门、信息工程学院领导和地方企业的大力支持。
工艺平台目前已成功开发出可供本科生实训用的“PN二极管”工艺流程，充分发挥校企合作共建机制，将工艺实训的成本降到最低。整体工艺流程开发试验历经2个半月，完成了氧化、扩散、光刻、刻蚀、金属沉积和探针台测试等工艺试验和25道工序的开发训练，相关工艺类型基本覆盖常规集成电路工艺试验类型，可以满足本科生工艺实训课程的需求。
集成电路工艺实训是制约当前我国集成电路人才培养的核心瓶颈之一，长期以来存在实验室建设成本高、建设“门槛”高、使用要求高等问题，难以在应用型本科高校中开展实体工艺线实训项目。本工艺平台的成功建设将会极大支撑9499www威尼斯集成电路相关专业学生应用型能力的培养。本平台还通过校企深入合作共建的方式，提供了一种高性价比的工艺平台建设方案，将会对应用型本科高校集成电路工艺实训课程建设起到积极示范作用，并为我国集成电路行业工程师人才培养添砖加瓦。
（撰稿、摄影：信息工程学院 陈珍海；审核：信息工程学院 吕海江；责任编辑：宣传部 朱凯波）
